便携式白光干涉仪参数指标

 测量原理

 白光干涉法

 z-定位系统

 Piezo 物镜调节系统

 高度测量范围
垂直分辨率

 Up to 400 μm
<1 nm

 尺寸

 270x127x165 mm(HxWxD)

物镜放大倍数
横向测量范围
最小分辨率

10x or 20x
480x360 um² or  320x240 um²
1.20 um or 0.90 um

测量时间

 < 1min. 

软件 

 smartWLI

 软件用于测量地形和使用一个直接接口到MountainsMap分析软件输出的3D数据,自动拼接模块

 MountainsMap®
 

广泛的分析软件以及轮廓和三维可视化、测量数据预处理和后处理DIN EN ISO粗糙度和高度的含量测定,顺序处理,测量记录

文档格式

 ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIFF