概况介绍 Zepto

基本设备

• 根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同

• 腔室容积：根据具体版本，分为 1.7 - 2.6 升

• 供电电源： 230 V

气源

• 针型阀

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）

• 圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子
  （大约 ? 105 mm, 长 200 mm 或者长 300 mm）

装载件

• 产品支架： 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

控制系统

• 手动型

• PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)

• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

计时器

• 数字型

发生器

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照?