根据具体组件 / 选装件,外壳规格会有所不同
腔室容积:根据具体版本,分为 18 - 36 升
供电电源: 台式设备为 230 V,立式设备为 400 V/3 相位
针型阀
质量流量控制器 (MFCs)
圆形不锈钢件,配有盖子
(大约 ? 267 mm, 长 420 mm 或者长 600 mm)或者
矩形不锈钢件,配有铰链的门
(约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm)
配有盖子的圆形铝材,或者配有铰链的门
(大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)
配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)
配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP),或者配有铰链的门
(大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm)
产品支架(选项:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃
单层或多层
RIE
半自动型
PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
Pirani
Baratron(适用于腐蚀性气体版本)
数字型
频率: | 40 kHz: 功率 0 - 300 W;0 - 1000 W |
13.56 MHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W | |
2.45 GHz: 功率 0 - 600 W |
所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型
规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。