扫描探针式TEM力电学...
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规格参数:

透射电子显微镜指标

  • 保证透射电镜原有的分辨率(非球差校正)。

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  • 扫描探针操纵指标
  • 粗调范围:XY方向2.5mm,Z方向1.5mm。

  • 细调范围:XY方向20um,Z方向2.0um。

  • 细调分辨率:XY方向0.4nm,Z方向0.04nm。



  • 力学传感器指标
  • 悬臂梁弹性范围5N/m~100N/m(不同型号,对应于最大载荷5uN~100uN)。

  • Z方向最大位移2.0um,分辨率0.04nm。

  • 载荷分辨率优于1nN(使用5N/m悬臂梁时)。

  • 自动测量力-距离曲线,自动保存。

  • 开尔文探针(Kelvin probe)模式(选配)。



  • 电学测量指标
  • 包含一个电流电压测试单元。

  • 电流测量范围:10nA-20mA,9个量程。最小电流分辨率:10fA。

  • 电压输出范围:普通模式±10V,高压模式±150V。

  • 自动电流-电压(I-V)测量、电流-时间(I-t)测量,自动保存。



  • 注:以上指标可能根据系统配置不同而略有变化,细调范围与分辨率允许±20%的误差 




相关电镜附件及外设