输出体积有0-50和0-100升/分钟; 0-250升/分钟;0-20和0-30升/分钟，0-1，0-5和0-10升/分钟可选。

仪器包括：净化器，输入和输出压力表，转子流量计或LED，输出流量调节阀。  

输出空气纯度: ozone臭氧, methane甲烷, hydrocarbons烃, NO/NOx氮氧化物, H2S硫化氢, S02, COS羰基硫, CO, CO2, SF6氟化硫 and fluorocarbons碳氟化合物 < 1 ppb