产品包括 FS-1™多波长椭偏仪，带紧凑自动 mapping 样品 台，可以实现快速，准确和可靠的薄膜均匀性测量。

特点和参数

n 4 段波长的椭偏数据（465, 525, 580, 635 nm），寿命长 的 LED 光源，探测器内无可移动部件

n 可对 0-1000nm 透明薄膜进行准确的厚度测量

n 标准浓厚重复性 0.015 nm

n 集成聚焦探针，标准光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可选）

n 电动 Z 轴样品台自动准直

n 灵活扫描图案编辑器

n 测量参数等值线绘制

聚焦光束选件

 样品上光束尺寸减小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm