激光束指向稳定系统参数指标

技术参数：

? 连续波和脉冲激光器:重复频率 0.1Hz-200MHz/连续波

? 模块化系统,单装置2/4光束控制

? 反馈精度: <1μm,<1μrad (最低可达10-100 nm)

? 超大扫描范围:>18°

? 全波段(标准:380-1100nm,定制180 nm-10 μm,THz（太赫兹)）,任意光束直径

? 高速度:伺服频宽超过5kHz

? 压电驱动制动器和机械装置多种组合

? 全计算机控制(USB,串口,局域网),完全独立操作

? 外部测量装置连接件(功率计,PDs, ...)