产品参数：

1.      可见光波段探测延迟范围：0 to 300+nm

2.      深紫外波段探测延迟范围：0 to 90+nm

3.      可见光波段应力探测精度：0.001nm / ±0.03 (up to 3nm, 1% thereafter) 

4.      深紫外波段应力探测精度：0.001nm / ± 0.08 nm (up to 4nm, 2% thereafter)