物镜Z轴纳米扫描

物镜Z轴纳米扫描

参考成交价格: 5~10万元[人民币]
技术特点

【技术特点】-- 物镜Z轴纳米扫描

物镜Z轴纳米扫描台

双传感器超高精度物镜扫描台!


AU-OSM-Z系列单轴压电扫描台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点。全行程采用电容位移传感器闭环反馈设计,精度可达到亚纳米量级。采用革命性双传感器技术,这一尖端的控制技术与以往相比,可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制,可提供更快的阶跃响应,提高有效载荷出现变化时的稳定性,并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽


Objective Scanning Mechanism 物镜扫描台、物镜定位器、 纳米定位工作台、 微定位工作台、压电精密定位系统,物镜Z轴扫描台,物镜高度扫描台,压电物镜聚焦平台,压电物镜扫描台


AU-OSM-Z系列纳米定位工作台采用压电陶瓷直推驱动,以柔性铰链为运动副,使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。

全行程采用电容位移传感器闭环反馈控制系统设计,电容位移传感器是将位移变化转换为电容电量信号的变化。电容位移传感器简单易用,而且拥有极高的精度,可达到亚纳米量级。结合数字闭环控制器,纳米定位工作台的响应时间和稳定时间可达到毫秒量级。低的移动质量和高的刚度结合可以提供非常高的带宽。

采用目前业内最尖端的双传感技术,这一尖端的控制技术与以往相比,可实现更快、更准确以及更稳定的显微镜物镜聚焦。 全新双传感器技术克服了传统纳米定位系统的限制,可提供更快的阶跃响应,提高有效载荷出现变化时的稳定性,并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。这项突破性的技术能够应用于各种袖珍模拟和数字控制器,其操作简便,为用户提供顶尖性能。

物镜扫描台主要包含AU-OSM-Z-100B和AU-OSM-Z-400A两款产品:

AU-OSM-Z-100B采用双传感技术,在不同负载下无需重复校正,提高有效载荷出现变化时的稳定性,并且显著增加自动显微术应用时的机械带宽。该产品具极短的稳定时间(<4ms),自振频率达到600Hz,其极快的稳定时间为工业标准的3倍。采用电容纳米传感器定位系统,使该产品具有高的重复性(0.1nm)、直线性(0.01%)和极低的迟滞现象(0.005%)。材质采用不胀钢,刚度达到了1.5N/mm。

物镜Z轴纳米扫描台

AU-OSM-Z-400A,为大行程的物镜扫描台,可达400mm。同样采用双传感技术,拥有极短的稳定时间和高的带宽。利用电容位移传感技术,其分辨率达到1nm。采用高刚度、无摩擦的柔性铰链为传动导向机构。


u 主要特点

l 亚纳米的分辨率

l 高的带宽

l 高速响应

l 高的可靠性

l 压电陶瓷驱动

l 柔性铰链设计

l 电容位移传感器闭环反馈

l 双传感器设计

u 主要应用

表面结构分析、 自动聚焦系统、共聚焦显微镜、扫描干涉仪等。



【技术特点对用户带来的好处】-- 物镜Z轴纳米扫描


【典型应用举例】-- 物镜Z轴纳米扫描


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