孔径尺寸（mm²）

3.6 x4.8

8.9 x11.8

8.0 x8.0

3.6x4.8

13.44x10.08

9.6x7.68

空间分辨率(um)

29.6

29.6

32

29.6

140

120

测量点数

160x120

300x400

250x250

160x120

96x72

80X64

波长范围

350-1100 nm

350-1100 nm

190-400 nm

1.5-1.6μm

3-5μm  8-14μm

0.9- 1.7μm

精准度

10nm RMS

10nm RMS

10nm RMS

>15nm RMS

75nm RMS

10nm RMS

动态范围

>100μm

>500μm

>200um

>100μm

/

~100μm

采样速度

60 fps

10 fps

30 fps

60 fps

50 fps

60fps

处理速度

>10fps

>3 fps

1fps

<10fps

20 Hz

>10Hz