产品名称：

AL2O3+Ga2O3-?薄膜（Ga2O3-??EPI?Film?(?400nm)?on?Sapphire）

技术参数：

生长方法：Spin coating + Annealing

Ga2O3-?参数：textured along (201)；

膜厚~ 400 nmAl2O3

薄膜参数：<0001>

10x10x0.5mm 单抛

产品尺寸：

10x10x0.5mm

标准包装：

1000级超净室100级超净袋真空包装