【技术特点】-- MOCVD

MOCVD设备将Ⅱ或Ⅲ族金属有机化合物与Ⅳ或Ⅴ族元素的氢化物相混合后通入反应腔，混合气体流经加热的衬底表面时，在衬底表面发生热分解反应，并外延生长成化合物单晶薄膜。

【技术特点对用户带来的好处】-- MOCVD

【典型应用举例】-- MOCVD