技术参数
主要特点
转速采用手动调整变频器频率的控制方式
可同时对4片最大尺寸为Φ2“ 的基片进行双面研磨抛光
可进行薄片的双面减薄
是双面研磨抛光Si、 Ge 、氧化物单晶基片的理想工具
电源:220V 50Hz
功率:550W
磨抛盘:Φ225mm
磨抛盘转速:0-72rpm内无级可调
最大样件尺寸:Φ50mm,厚度≤15mm
上磨抛盘重量:3.5kg
产品规格
尺寸:650mm×500mm×580mm;
重量:80kg