参数

• 输入电压：110/220,50/60Hz,小于100W（请在订货时说明）；

• 输出频率：13.56MHz;

• 等离子直流电源：

• 低功率设定：直流680V，10mA,6.8W;

• 中功率设定：直流700V，15mA,10.5W;

• 高功率设定：直流720V，25mA,18W;

• 等离子腔室：    直径75mmx长165mm,耐热玻璃    前盖可以拆卸。

• 真空泵和阀的要求： a,大于每分钟160L
                                          b,极限压力：200mtorr或者0.27mbar
                                          c,可以选择数字真空表
                                          d,针阀控制气体流量
                                          e,采用三通阀门快速控制进气、密封等离子腔室、排气

• 气体：多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。

• 警示：不能使用可燃性气体。

• 外形尺寸：200mmx250mmx210mm 8、净重：（不含泵）8kg

可选真空计