技术参数
真空腔体
腔体为一高纯石英管
尺寸: 11“ OD x 10.8“ID x 9“ H
真空法兰
真空法兰材质为316不锈钢制作
顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4“ 软管接头的出气口
底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4“ 软管接头的进气口
法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度