近距离蒸发镀膜 ( CS...
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技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管

  • 尺寸:  11“ OD x 10.8“ID x 9“ H 

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4“ 软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4“ 软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过真空度可达10-2 torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度