【技术特点】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1400mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热，最大升温速率为100℃/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

加热区长度	每个炉体的加热区为200mm
恒温区	60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C)
加热元件	掺钼铁铬铝合金
炉管	高纯石英管 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
温度控制系统	两个炉体都采用PID方式来调节温度，可设置30段升降温程序。 控温仪表操作视频 设置有超温和断热偶报警 包括2个K型热电偶（已安装在炉体上） 可选:可选择控制模块MTS-02，可使用电脑来控制炉体的升降温 （点击图片查看详细资料）
真空法兰	仪器中包含一对不锈钢密封法兰，法兰上安装有机械压力表 可选购KF25接口的法兰（提高抽气速率)，防腐型真空计
滑轨长度	1200mm
真空度	10E-2 torr（采用机械泵）

【技术特点对用户带来的好处】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

【典型应用举例】-- 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL