【技术特点】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪

1:四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪 型号：KDK-KDY-1

四探针电阻率/方阻测试仪（以下简称电阻率测试仪）是用来测量半导体材料（主要是硅单晶、锗单晶、硅片）电阻率，以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份（简称：主机）、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表，在测量电阻率的同时，另一块数字表（以万分之几的精度）适时监测全程的电流变化，免除了测量电流/测量电阻率的转换，更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源，使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关，在测量某些箔层材料时，可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生，更好地保护箔膜。小游移四探针头，探针游移率在0.1～0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器，测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正，并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。

备注：
等级测量时（测电阻率），精度<3%
电气测量时（测电阻），精度在0.3%以内

备注：
仪器包括：主机一台；测试架（包括台面）一个；四探针头1个

【技术特点对用户带来的好处】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪

【典型应用举例】-- KDK-KDY-1 四探针电阻率测试仪