HARTS-8 四探针测试仪
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技　术　指　标 ：


 


 测量范围

  电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；  
 方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；
 电导率：10-5～105 s/cm；
 电阻：10-5～105 Ω；

可测晶片直径

  140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源

  电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调

数字电压表

  量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标

  间距：1±0.01mm；
 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
 机械游移率：≤0.3%；
 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

  (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)

  0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量最大相对误差

 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度

  ≤5%

计算机通讯接口

  并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5  秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程档时）。连接电脑使用时带自动测量功  能，自动选择适合样品测试电流量程；

标准使用环境

  温度：23±2℃；
 相对湿度：≤65%；
 无高频干扰；
 无强光直射；


配置 四探针测试仪主机、探针台、四探针探头、

 



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