zl设计方形样品室，尺寸：140mm宽x145mm深x150mm高，样品台直径80mm

工作距离：30-100mm

溅射电流：≤150mA

极限真空度：≤7x10-3mbar

可选配石英膜厚监控器，可程序化控制膜厚，并反馈镀膜仪，精度为0.1nm