参数：

1.    手动控制运行模式

2.    常用工作气体空气、氩气、氮气或混合气体等

3.    功能：表面清洁、激活及改性

4.     *发生器、控制器及舱体一体设计，根据工艺要求不同，可在主机上完成功率、气体流量的设置

5.    双路工作气体，浮球气体流量计

6.    *高硼硅玻璃反应舱，Dia.:160mm*L180mm，容积为4L

7.    *高周波射频频率13.56MHz 0~300W 功率连续可调

8.    电极材质为铝/不锈钢,覆盖玻璃舱体外周,保证产生均匀的等离子体,分布精度+/-2%

9.   外形尺寸：W425*D450*H185mm

10. 电源电压：单相AC230V 16A

OPTION：

1.石英腔体

2.发生器40kHz,0~100W

3.石英舟

4.真空计

5.计时器

6.真空泵：油泵/干泵