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飞秒激光微纳加工系统
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飞秒激光微纳加工系统参数指标
参数
指标
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激光放大器参数
波长
1030nm
平均功率
6W
重复频率
1-1000KHz可调
脉宽
<280fs-10ps计算机控制
最大脉冲能量
1mJ
输出稳定性
<1%
光束质量M2
<2
脉冲选择器
多种频率选择
SH, TH,FH可选
激光振荡器参数
功率
>1W
脉宽
<80fs
重复频率
76MHz
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