三维表面形貌仪参数:
定位台行程范围:X: 200 mm Y: 200 mm Z: 200 mm (电动)
接触式测量范围: 范围0.1mm, 分辨率2nm, 速度 3mm/s
范围:2.5mm 分辨率40nm, 速度3mm/s
非接触式测量范围:
范围:300um, 分辨率2nm, 速度30mm/s
范围:480um, 分辨率2nm, 速度30mm/s
范围:1mm, 分辨率5nm, 速度30mm/s
范围:3.9mm , 分辨率15nm, 速度30mm/s