布鲁克NanoForce纳米压痕仪参数指标

负载能力

zei大载荷：45毫牛

zei小接触力：0.5微牛

载荷分辨率：0.0003微牛

载荷噪音：0.5微牛

位移分辨率：0.003纳米

位移噪音：0.4纳米RMS

zei大位移：50微米

动态模式

zei小力振幅：0.025微牛

zei大力振幅：1900微牛

频率范围：0-300赫兹

移动系统

XY-载物台zei大行程：155mm*140mm

XY-载物台可用区域：70mm*55mm(显微镜和压痕头都可访问)

Z-载物台行程：>20mm

平台：

XY载物台分辨率：0.1微米

漂移：<0.01纳米/秒

支架刚度：>5×10⁶ N/m

多样品托盘：可同时装4个样品

集成真空吸盘：可装zei大直径为200mm的样品

显微镜：光学放大倍数：5X，10X和20X

压力：提供一布氏压头