技术参数:
产品完美结合我们在电化学方分布测试方面超过30年的经验和世界上最先进的电路系统。
全自动, 特别适用于新材料, 如氮化镓, 碳化硅材料等。
有效检测:
•外延材料
•扩散
•离子注入
适用材料: CVP21应用范围宽,可以用于绝大多数的半导体材料。
IV族化合物半导体如:硅(Si)、锗(Ge)、碳化硅(SiC)等…
III-V族化合物半导体如:砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP)、磷化镓(GaP)等…
三元III-V族化合物半导体如:铝镓砷(AlGaAs)、镓铟磷(GaInP)、铝铟砷(AlInAs)等…
四元III-V族化合物半导体如:铝镓铟磷(AlGaInP)等…
氮化物如:氮化镓(GaN)、铝镓氮(AlGaN)、铟镓氮(InGaN)、铝铟氮(AlInN)等…
II-VI族化合物半导体如:氧化锌(ZnO)、碲化镉(CdTe)、汞镉碲(HgCdTe)等…
其他不常见半导体材料(可以联系我们进行样品测量)。
载流子浓度测量范围:
•最大 1021/cm³
•最小 1011/cm³
深度解析度:
•最大无上限
•最小可至1 nm (或更低)
模块化系统结构:
•拓扑型结构
•实时监控腐蚀过程
•适于微小样品及大尺寸的晶圆
全自动化系统: