技术指标:
进气口法兰 | DN250 CF DN250 ISO-K | 排气口法兰(ISO-KF) | DN50 |
抽速速率(L/s) | N2:2000 He:1600 H2:740 Ar:1900 | 压缩比 | N2: 1E8 He:1E4 H2:1E3 Ar:1E9 |
极限压强(Pa) | CF:6E-7 ISO-K:6E-6 | 最大连续前级压强(Pa) | 200 |
最大前级压强(Pa) | N2:650 | 最大气载量(sccm) | N2:3200 He:2400 H2:1850 Ar:1200 |
额定转速(RPM) | 24000 | 启动时间(min) | ≤9 |
冷却方式 | 水冷 | 冷却水流量(L/min) | ≥1 |
冷却水温度(℃) | ≤25 | 电源电压(VAC) | DC24/AC220 |
最大功率(W) | ≤750 | 适配电源型号 | FD-II、FD-IIB、TCDP-II、TD-II |
建议前级泵(L/s) | 15 | 重量(kg) | 32(LF) 35(CF) |
尺寸