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技术指标：
| 进气口法兰 | DN100 CF DN100 ISO-K | 排气口法兰（ISO-KF） | DN25 |
| 抽速速率（L/s） | N2：140 He：130 H2：75 Ar：145 | 压缩比 | N2：1E7 He：1E3 H2：1E3 Ar：1E7 |
| 极限压强（Pa） | CF：2E-7 ISO-K：2E-6 | 最大连续前级压强（Pa） | 220 |
| 最大前级压强（Pa） | N2：500 | 最大气载量（sccm） | N2：135 He：80 H2：52 Ar：143 |
| 额定转速（RPM） | 51000 | 启动时间（min） | ≤3 |
| 冷却方式 | 水冷或风冷 | 冷却水流量（L/min） | 1 |
| 冷却水温度（℃） | ≤25 | 电源电压（VAC） | DC24/AC220 |
| 最大功率（W） | 90 | 适配电源型号 | TD-150/TCP-100/TC-100 |
| 建议前级泵（L/s） | 1～2 | 重量（kg） | 6.0（ISO-K） 8.6（CF） |
尺寸
