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技术指标
| 抽气速率（l/s） | N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560 | 压缩比 | N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3 |
| 极限压强（Pa） | 10-6（橡胶密封） 10-7（金属密封） | 进气口法兰 | DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制) |
| 额定转速（rpm） | 30000 | 启动时间（min） | ≤6 |
| 停机时间（min） | ≤16 | 安装方式 | 任意角度 |
| 冷却方式 | 水冷 | 推荐前级泵抽速（l/s） | ≥16 |
技术指标
抽速速率（L/s）：N2：1400 Ar：1360 He：880 H2：560
压缩比：N2：＞1E7 Ar：＞1E7 He：＞1E4 H2：＞1E3
极限压强（Pa）：1E-6（橡胶密封） 1E-7（金属密封）
进气口法兰：DN200 ISO F（标配） DN200 CF(可选) DN200 LF(可定制)
排气口法兰：KF40
额定转速（rpm）：30000
启动时间（min）：≤6
停机时间（min）：≤16
安装方式：任意角度
冷却方式：水冷
推荐前级泵抽速（l/s）：≥16
推荐冷却水温度（℃）：20±5
供电电源（V AC）：220±10％，50Hz 110±10％，60Hz
尺寸
CXF-200/1401型一体磁悬浮分子泵的外形如图所示，外形对应尺寸详细数值见表。
