【技术特点】-- KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜

KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜

产品特点：

具备较高分辨率，满足大多数样品的微观形貌测试，尤其适合不便喷涂导电膜的试样

翻开式枪室结构钨丝阴极，更换灯丝方便

独特的结构可实现样品室低真空氛围（10-270Pa），有效降低电荷积累

成像效果优良，细节清晰，景深大

中英文菜单，一键成像

易操作，低故障，适合多试样测试

自动功能：电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散、像散记忆等

自动校正，自动故障检测

技术指标：

分辨率	3nm@30KV（SE，高真空）； 6nm@30KV（BSE，高、低真空）	放大倍率	8～300000 倍
电子枪	翻开式预对中钨丝阴极	加速电压	0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV
中英文菜单	具有一键切换功能	低真空模式	10~270Pa，真空切换时间小于90秒
样品台	四轴自动样品台		中英文菜单；具有一键切换功能

电子光学镜筒部分： 800×800×1850(mm)
电器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

产品特性：

1）具备低真空功能

2）分辨率高、成像质量好

3）翻开式预对中钨丝阴极、选配六硼化镧灯丝

4）中英文操作界面，具有一键成像功能

选配件：EBL、高低温台、纳米操作台、拉伸台

选配探测器：EBSD、EDS、CL

应用领域：

生命科学、动植物、微生物、半导体等敏感试样等

【技术特点对用户带来的好处】-- KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜

【典型应用举例】-- KYKY-EM6900LV系列扫描电子显微镜