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DHM主要参数：
测量模式 | 单波长 | 双波长 | 垂直扫描 |
精度 | 0.1nm | 25nm(0.1nm) | 0.5um |
垂直分辨率 | 0.2nm | 50nm | 1.0um |
重复性 | <0.01nm | 0.25nm(<0.01nm) | <0.05nm |
垂直标定 | 取决于波长，无须机械校准 | ||
垂直测量范围 | 对于光滑样品，可达场深； | ||
垂直扫描测量范围 | 可达10mm,取决于z平台 | ||
侧向分辨率 | 取决于物镜，油镜可达300nm(1.4NA) | ||
视场 | 取决于物镜，从0.3mm到18mm | ||
数字聚焦范围 | 达50倍场深(取决于物镜) | ||
采集时间（1幅全息图） | 可达1us | ||
空间采样 | 1024*1024像素 | ||
采样频率 | 15fps(1024*1024像素)（可选达30fps） | ||
单波长重建速率 | 15fps(512*512像素)，4fps（1024*1024像素） | ||
双波长采样时间 | 1.5s | ||
垂直扫描采样时间 | 扫描速度：6um/s，重建时间：6s | ||
样品照明 | 低于1uw/平方厘米 |
技术参数：
系统 | |
测试技术 | 单波长与双波长垂直相干扫描数字全息显微镜 |
图象类型 | 强度及定量相位对比图象（DHM模式），光学相貌（垂直扫描） |
光源 | 双单色激光 |
样品台 | 手动或自动XYZ平台 |
相机 | 1392*1040像素，8比特 |
有效物镜 | 标准，高数值孔径，长工作距离，水/油浸物镜 |
物镜固定 | 4孔转盘或六孔 |
计算机 | Intel处理器,DELL工作站，19”SXGA显示器 |
软件 | 基于C++和.NET的Koala软件 |
可选工作模式 | 频闪模式 |