主要参数

产品型号	EQ-400
光谱范围	170nm-2100nm
输出功率	~15W
光谱辐亮度	~100mW/mm^2.sr.nm
数值孔径	0.5NA
光源寿命	>9000hrs
输出方式	可选双光束输出或带后向反射器的单光束输出
光源重量	灯室2.7kg，控制器18.8kg
光源尺寸	灯室136×145×56mm，控制器133×483×584mm
应用范围	高性能光谱，单色仪光源，半导体计量与检测，材料特性分析，薄膜量测，缺陷检测，PEEM，其他需要长寿命灯的应用