工作台

玻璃台尺寸(mm)

690*770

640*1070

X、Y运动行程(mm)

600*650

600*900

Z向行程(mm)

200

200

外形尺寸(mm)

1500*1350*1510

1800*1350*1510

仪器重量(kg)

1300

1550

X、Y、Z向分辨力(um)

0.1

X、Y示值误差(um)

E1XY=(2.5+L/200)

物镜放大倍率误差

包括畸变在内的放大率误差：≦0.08%

落射照明光源

可调高亮度LED灯源

底光照明光源

可调条型光源

电源

AC   100V-240V  50/60Hz

气源压力

≧0.5MPa

空气流量

120L/min(0.4   MPa)

温度范围

20±2℃＜1℃/h  ＜2℃/24h ＜1℃/m

湿度

55%~65%

目视系统

影像系统

物镜放大倍数

5X、10X、20X、50X

目镜放大倍数

10X双镜筒

1/2”CCD摄像机

总放大倍数

50X~500X

140X~1400

(17”显示嚣，分辨率1024*768)