3D光学轮廓显微镜
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基于FLCoS微型显示器的高速转换速度和特有的快速共聚焦算法,本设备可达到12.5帧/秒的共聚焦图像帧率,垂直3D扫描达到8层/秒,这意味着3D共焦测量扫描速度范围为0.5至350μm/s。干涉扫描速度为50 fps,即垂直扫描速度高达800μm/s。一次典型的测量时长,其中包括扫描后的运算,通常小于5秒。


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