规格参数:
基本规格 | Excel 662 |
量测行程 | X650xY680xZ250mm |
X,Y轴精度 | U=3.0+L/200mm (L=量测距离) |
Z轴精度 | U=3.0+L/200mm (L=量测距离) |
光学尺分辨率 | 0.1μm |
移动速度 | 500mm/s |
X,Y轴加速度 | 1000mm/s2 |
Z轴加速度 | 500mm/s2 |
床台材质 | 花岗石 |
光学镜头/倍率范围 | 12:1 Programmable Zoom/~14x-400x |
承载重量 | 100公斤 |
外观尺寸 | 长1311宽1604高1788毫米 |
机台重量 | 1350公斤 |
环境要求 | 温度20±2°C,湿度30-80% |
电源需求 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max. |