规格参数:
技术参数 | Excel 661UM | Excel 661UC |
测量范围 | 650×680×150mm | |
仪器外观尺寸 | 1311×1604×1608mm | |
净重 | 1530kg | |
容量 | 100kg | |
床台材料 | 花岗岩 | |
途径 | 独特的X和Y单轨,单轨线性的z | |
电源要求 | 93-264VAC, 47-63Hz, 10Amp max. | |
X,Y轴精确度 | U=2.8+L/200μm | |
Z轴精确度 | U=2.8+L/100μm | |
X,Y轴最大加速度 | 1000mm/s2 | |
Z轴最大加速度 | 500mm/s2 | |
X,Y 速度 | 150mm/s2 | |
光栅尺分辨率 | 0.1μm | |
轮廓光,同轴光,表面光 | 红光LED技术(黑白机种使用) 白光LED技术(彩色机种使用) | |
光学镜头/倍率范围 | 12*Opucal/2.5*Digital Programmable Zoom/15x~1200x on | |
计算机规格 | 1.2GHz,256MB RAM,Windows2000,CD-RW,Ethernet Card | |
工作环境 | 20℃(680F)±20,30-81% Humidity |