Micro-Vu502UC非接触三坐标测量仪参数指标

实体特性

测量范围

400mm×500mm×150mm

400mm×500mm×250mm

仪器外观尺寸

1100mm×1200mm×1550mm

1100mm×1200mm×1650mm

净重

860kg

900kg

X,Y轴最大速度

700mm／s

700mm／s

X,Y轴最大加速度

1400mm／s2

1000／s2

Z轴最大速度

100mm／s2

100mm／s2

Z轴最大加速度

450mm／s2

450mm／s2

光栅尺分辨率

0.1μm

X,Y轴精确度

2.5+L／200μm

2.8+L／200μm

Z轴精确度

2.5+L／100μm

3.0+L／100μm

变焦镜头（光学，数位）

36x（12x，3x）

放大倍率

15x -540x to 30x -1080x

工作台承重

100kg on Glass

电源参数

输入电压

93-264 VAC

输入电流

47-63 Hz

环境参数

操作环境温度

20℃±2.0℃

静置环境温度

-25℃-60℃

适当的温度

30%-80%

仪器噪音值

<70dB(A)