【技术特点】-- FT-SD10 四探针方阻电阻率测试仪

四探针方阻电阻率测试仪

1.覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，

3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，

4.抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，

功能描述Description：

1. 四探针单电测量方法

2. 液晶显示，自动测量，自动量程，自动系数补偿.

3. 高集成电路系统、恒流输出.

4. 选配：PC软件进行数据管理和处理.

5. 提供中文或英文两种语言操作界面选择

满足标准：

1.硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

工作原理和计算公式

1.四探针法测试薄层样品方阻计算和测试原理如下：

直线四探针测试布局如图8，相邻针距分别为S1、S2、S3,根据物理基础和电学原理：

当电流通过1、4探针，2、3探针测试电压时计算如下：

四探针测试结构

当电流通过1、2探针，4、3探针测试电压时计算如下：

从以上计算公式可以看出：方阻RS只取决于R1和R2，与探针间距无关．针距相等与否对RS的结果无任何影响，本公司所生产之探针头全部采用等距，偏差微小，对测试结果更加。

仪器工作原理图

整机示意图---显示界面

开机页面

测试界面

标准电阻

四探针探头

四探针测试平台 +探头

四探针测试仪主机组合图

测试报表样本

步骤及流程

1. 开启电源，预热5分钟.

2. 装配好探头和测试平台.

3. 设定所需参数.

4. 测量样品

5. 导出数据.

优势描述：

1. 自动量程

2. 高准确稳定性.

3. 双电组合测试方法

4. 标准电阻校准仪器

5. PC软件运行

6. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.

7. 最多可显示5位有效数字.

8. 中、英文界面

【技术特点对用户带来的好处】-- FT-SD10 四探针方阻电阻率测试仪

【典型应用举例】-- FT-SD10 四探针方阻电阻率测试仪