Verity EPD 光谱仪技术特点

【技术特点】-- Verity EPD 光谱仪

仪器简介：

应用：
◆蚀刻-半导体-砷化镓等
◆蚀刻-平板显示
◆蚀刻-微机电系统
◆化学气相沉积
◆去光阻
◆化学机械研磨

主要特点：

◆等离子诊断
◆缺陷检测
◆200-800纳米
◆制程监控
◆符合RoHS要求
◆科研级CCD
◆体积小
◆软件功能强大
◆可独立操作

【技术特点对用户带来的好处】-- Verity EPD 光谱仪

【典型应用举例】-- Verity EPD 光谱仪