【技术特点】-- HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源

HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源

靈活的 HFV® 電源主要用於200和300 mm 晶圓製程、平面顯示器和 DVD 設備的電漿產生器，為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了製程一致性。這種通用電源的特點有數位合成變頻輸出和微處理器控制。韌體上的頻率調諧參數可進行訂製，以確保在各種反應室結構和製程方法下的可重複運行。

【技术特点对用户带来的好处】-- HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源

【典型应用举例】-- HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源