【技术特点】-- Ovation VHF電源系統

Ovation VHF電源系統

Ovation 全整合供電系統通過採用一種獨特的供電方案，能夠實現更快、更精確的製程過程，如要求嚴格的窄線寬、介電質蝕刻製程。該系統首次在無需外部感測器的情況下，為非 50-ohm 環境供電，反應比傳統電源更快。60-MHz 的設計減小了整個電漿鞘層的電壓勢能，最大限度地減小了離子蝕刻損傷，從而提高了薄膜品質和良品率。

【技术特点对用户带来的好处】-- Ovation VHF電源系統

【典型应用举例】-- Ovation VHF電源系統