美国SONIX超声波显微镜 ECHO LS™参数指标

规格参数：

扫描轴（X 轴）：

• 定位装置： 线性伺服马达

• 最大速度：1000mm/sec

• 重复精度：+/-0.5um

• 编码器分辨率：0.5um

• 最大扫描区域：350mm

步进轴（Y 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大扫描区域：350mm

聚焦轴（Z 轴）：

• 定位装置：低电磁干扰导轨式步进马达

• 分辨率：0.25um

• 最大行程：50mm

夹具：

• JEDEC 标准尺寸托盘夹具

• 扫描平台可固定特有的托盘夹具

• 透射杆探头固定

机台尺寸：

• W31”xD31”xH48’’(约长 79cm*宽 79cm*高 122cm)

流体系统：

• 循环泵和 5um 过滤器

超声波仪器

• DPR500 接收器 配置 L2/H4 脉冲发生器

• 可选 U4 超高频脉冲发生器

其它：

• 带脚轮的摆放桌

• 紧急开关和安全锁

• 较低的取放样品区域