仪器参数:
仪器尺寸
300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)
重量
6Kg
可配套仪器
EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座
置晶片装置
密度范围
1.55 to 23.0g/cm-3
测控范围
5 to 999nm
镀碳时精度
0.8nm
镀金时精度
0.1nm
电源
230V 50 Hz (3 Amp Max)