膜厚监测仪
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仪器参数:

仪器尺寸

300mm   (W) x 150mm (D) x 75mm (H)

重量

6Kg

可配套仪器

EMS   450, EMS 550, EMS 575, EMS 650,
  EMS 675, EMS 950, and the EMS 975

晶片座

置晶片装置

密度范围

1.55   to 23.0g/cm-3

测控范围

5   to 999nm

镀碳时精度

0.8nm

镀金时精度

0.1nm

电源

230V   50 Hz (3 Amp Max) 


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