范围：

2000 microns

Z终止精确度

工具1i /   3i：

<±1 micron

工具2i /   4i：

<±2 microns

工具压力

范围：

1 -   200 grams

1 grams 步进

平衡

灵敏度：

1 grams

范围：

50 grams

工具速度

100   - 600 RPM

样品压盘转速

10 RPM

工具传动轴

0.5微米TIR

工具1i /   3i：

<±1 micron TIR

工具2i /   4i：

<±2 microns TIR

压盘表面

<0.5 micron TIR

外形尺寸

长度：

68.6cm

宽度：

35.6cm

高度：

33cm

重量：

32kg

电源

通用交流电：85~264   VAC，47~63 Hz