PCE-6V小型等离子清洗机参数指标

技术参数

1、电压：AC220V  10A

2、消耗功率：<500W（包括真空泵）

3、RF电源：输出功率100W，输出频率13.56MHz

4、腔体：Φ190mm×98mm

5、石英管：Φ180mm×55mm，壁厚7mm

6、内腔：Φ165mm×55mm

7、清洗电极：Φ120mm

8、样品台：Φ150mm，有效尺寸Φ140mm

9、样品台与电极间距：15mm-50mm可调

10、抽气管：Φ12mm

11、极限真空度：0.1Pa

12、工作真空度：60Pa-500Pa

13、气路数量：2路（选装）

14、流量控制器数量：1、2

15、流量显示仪：2通道

16、气路接口：Φ6mm

17、加热样品台：Φ140mm，加热样品温度RT-600℃±1℃（选装）

18、冷却水压力：0.2KPa-0.4KPa

19、工作环境：温度5℃-35℃，湿度<80%（相对湿度）不结露，海拔高度0-2000m