技术参数

1、电源：AC220V  50/60Hz

2、输出功率：7.2W、10.2W、29.6W

3、真空泵功率：<500W

4、总功率：<600W

5、射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节

6、等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm的观察窗

7、真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵

8、极限真空度：50mtorr

9、通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N₂、Ar、H₂、O₂、Air和混合气体等（根据材料性质选定）

清洗及蚀刻