PCE-8等离子清洗机技术特点

【技术特点】-- PCE-8等离子清洗机

PCE-8等离子清洗机是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 Φ8.5 “×12“的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

主要特点

1、采用6″彩色触摸屏，可控制射频功率、清洗时间、气体流量、真空泵的开启等。

2、内部配有0-500mm/min的质量流量计，可以精确地控制进气流量。

产品规格

尺寸：620mm×450mm×600mm

标准配件

1、直连式双旋真空泵（240L/min）

2、KF25波纹管

3、KF25手动挡板阀

可选配件

1、300W、600W射频电源（进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验）

2、2″-6″石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混气系统

4、2-4通道质子混气系统

【技术特点对用户带来的好处】-- PCE-8等离子清洗机

【典型应用举例】-- PCE-8等离子清洗机