SWC-5000 (AD) 全自动...
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  • 机械手全自动上下载片

  • 支持12”直径的圆片或9”x9”方片

  • 多系统集成

  • 掩模板或晶圆片夹具

  • 臭氧清洗

  • PVA软毛刷清洗

  • 高压DI清洗

  • 氮气离子发生器


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