【技术特点】-- SWC-4000 (D) 兆声湿法去胶系统

• 独立系统

• 无损兆声,试剂，毛刷清洗及旋转甩干

• 微处理机自动控制

• 化学试剂滴胶单元

• 机械手自动上下载片

• 掩模板或晶圆片夹具

• 臭氧清洗

• PVA软毛刷清洗

• 高压DI清洗

  
  

【技术特点对用户带来的好处】-- SWC-4000 (D) 兆声湿法去胶系统

【典型应用举例】-- SWC-4000 (D) 兆声湿法去胶系统