SWC-5000 (AC)全自动...
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  • Ge, GaAs以及InP晶圆片清洗

  • CMP处理后的晶圆片清洗

  • 支持12”直径的圆片或9”x9”方片

  • 30”D x 26”W 的占地面积

  • PVA软毛刷清洗






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