台阶仪技术特点

【技术特点】-- 台阶仪

厚度47nm 标准样品,三次重复测量结果叠加 (无任何减噪修正，原始数据输出） 500um扫描, 2um探针

NanoMap-PS2是一款专门为nm级薄膜测量研发的无需防震台即可测量的接触式台阶仪

AFM同款位移传感器，超高精度

压电陶瓷驱动扫描，绝对无内源振动

自集成主动反馈式防震系统

真正无需额外辅助防震系统，实现高重复性纳米测量

纳米量级科学研究的必备产品

NanoMap-PS2 台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。其高精度，高重复性，自动探索样品表面，自动测量深受广大客户欢迎。

测量表面可以覆盖多种材料表面：金属材料、陶瓷材料、生物材料、聚合物材料等等，对于植物表面，生物材料，聚合物表面，光刻胶等“柔软表面”也可测量无须担心划伤或破坏。设备传感器精度高，稳定性好。热噪声是同类产品最低的。垂直分辨率可达0.1nm 。 可测表面，包括透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料，金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿等；

AEP的技术日新月异。 欲了解最新的产品性能参数，请与我们联系。

主要参数 :

垂直分辨率 0.1nm

垂直最大量程 1000um
探针接触力 0.03mg-100mg

平台范围 直径150毫米（可选200毫米或更大）
高清图像 4级放大，彩色CCD
成像光源 双长寿命强光LED

金刚石探针 0.5um 到 25um 可选

【技术特点对用户带来的好处】-- 台阶仪

【典型应用举例】-- 台阶仪