低成本
带预真空锁,自动上下载片
水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)
自动上下载片(NIE-3500)
基于LabView软件的PC计算机全自动控制
表面处理
离子铣
带活性气体的离子束刻蚀: 光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀